背向電子繞射分析技術

Electron Backscatter Diffraction (EBSD) 是一種利用掃描式電子顯微鏡中背向繞射電子束進行材料晶體結構及晶粒方向性的技術。

上圖為304不銹鋼進行微粒子加工前後的上表面微結構。a、b、c為加工前，d、e、f為加工後。

白光干涉儀 (White Light Interferometry, WLI)

一種光學式輪廓儀，利用光的干涉現象檢測目標物件表面的凹凸起伏。

上圖為白光干涉儀表面圖。